平台现拥有近1800平米东、西区两个净化实验室，设备总资产超3亿，建设6、8英寸半导体级实验线各一条，具备从薄膜沉积与生长、光刻、干法刻蚀、湿法清洗与刻蚀、封装、表征与测试等全链式微纳加工工艺能力，拥有先进的KrF深紫外步进式光刻机（150nm）、电子束直写（10nm）、聚焦离子双束、纳米压印、无掩膜激光直写、离子注入、半导体材料分子束外延生长等高端微纳加工与测试设备，加工尺寸涵盖从亚10纳米至微米级，可加工包括光电子器件、新型存储器、微机电器件与系统（MEMS）、生物芯片、微流控等多领域的新型微纳器件。

平台由两部分团队组成。

平台教授科研团队由3名长江学者、2名杰青、1名优青等杰出中青年教授专家组成。

平台服务团队，由工艺研发、工艺集成、工艺技术、测试、厂务等共6个部门组成。服务团队建设情况良好，共享服务人员队伍专业化水平高，人员队伍结构安排合理且稳定性高，专职人员共46人，中高级职称人员29人，占平台专职人员比例超60%。

图1. 平台组织架构示意图

面向用户需求，平台开发了多种硅基光电子标准器件与工艺，在硅基光通讯器件领域以及微波光子芯片领域形成了多项重要科研成果。获得上海市科技发明奖与进步奖一等奖各一项。承担省部级以上科研项目36项、共计2.2亿元。其中国家重点研发计划12项。发表学术论文113篇。其中SCl英文论文85篇，授权国家发明专利44项。

以“服务、互动、创新、满意”为服务理念。平台面向全国高校、科研院所、高新企业提供自主操作、委托加工测试，项目合作、微纳半成品定制、人才培训等全方位多层次的科研技术服务。服务国肉80家科研机构及企业。行业覆盖率11.4%。覆盖全国19个省直辖市、26个城市，其中，长三角一体化区域企事业单位47家。完成165项共计500.1万元的技术服务合同。为用户带来经济效益4300余万元。培训平台新用户667人。

图2. 服务流程图

未来三年，平台将继续基于产学研交叉融合科研服务的特色，响应支撑国家重大需求、助推企业关键技术攻关，从人才队伍、关键器件与工艺、设备运维、实验室管理、对外服务等方面优化建设。扎根长三角、面向全国，进一步拓展科研服务的广度与深度，为区域乃至全国硅基光电子产业发展注入更强动力。

图3. 服务地域分布示意图