平台现有硅基有源/无源器件PDK工艺库，具备硅基光波导器件的标准工艺加工能力，同时也支持硅基、氮化硅和铌酸锂器件定制化加工。
图1 AEMD硅基光电子无源器件PDK平台示意图
工艺集成工作流：
图2 平台现有硅基光电子器件加工工艺及测试门类
