微纳光学器件加工

平台具备加工高质量微纳光学器件的能力,其中微透镜单元尺寸覆盖几百纳米至数百微米,形状可为圆形、四边形、六边形及用户定制的异形结构等。

 

光学衍射器件(DOE)

 

光学透镜

×