
AEMD平台提供6英寸及部分8英寸及以下尺寸的硅基、玻璃基及聚合物基器件与结构的微纳加工及相关测试服务。服务模式包括委托加工测试、自主操作、专业人才培训、微纳结构与器件定制和项目合作开发等多种形式。
委托加工与测试
平台根据用户需求,提供微纳加工工艺的单步、多步及系统化委托加工和测试服务,确保高质量、高效率的加工与测试支持。
自主操作
平台对部分设备提供自主操作服务。用户在通过平台培训及考核获得进入净化室资格并取得相关设备操作权限后,可以自主进行设备预约和加工测试操作,享受灵活的操作体验。
专业人才培训
平台面向校内外用户提供半导体净化室的综合培训,帮助用户掌握专业的微纳加工技术及设备操作技能,培养专业人才。
微纳结构与器件定制
平台提供定制化服务,能够加工薄膜及微纳结构半成品,并为客户定制微纳结构与器件成品,满足不同应用需求。
项目合作开发
1.科研技术支撑
平台对接国家重大专项科研项目,提供技术支撑。结合交大多学科交叉与人才优势,在AEMD平台的研发条件支持下,联合科研单位及企业申请各类国家级及部级重大项目,共同推进技术研究与创新。
2.流片与测试环境
为科研单位及中小型科研公司提供微纳加工产品的流片与测试环境,助力产品开发与技术验证。
3.设备供应商合作
为半导体设备供应商提供样机展示与相关工艺合作开发的平台,推动设备技术的完善与推广应用。
4.科研项目与产品开发
为校外各级研究机构与企业的科研项目和产品开发提供加工服务或项目合作,促进技术转化与产业应用。
AEMD平台致力于为各类科研单位、企业以及创新项目提供高效的微纳加工与技术支撑服务,助力前沿科技的研究与产业化。