平台现提供多种纳米图形化（包括EBL、DUV、NIL、DWL、FIB等）的服务能力，配套相关的微纳加工与测试方法，可实现各类新型纳米电/光器件的原理验证。
黑磷/碳纳米管薄膜垂直异质结光电探测器
(供图：上海交通大学陈长鑫老师课题组)
