尊敬的各位用户老师、同学：
AEMD平台东区化学辅助离子束刻蚀系统（CAIBE）（设备编号：EFM4CRB01）已完成设备维修，恢复对外开放使用。
在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！
先进电子材料与器件（AEMD）平台
2026年10月30日
