2023-12-12

关于AEMD平台西区EBL设备维修的通知

尊敬的各位用户老师、同学: AEMD平台西区电子束直写曝光系统(EBL)(设备编号:WPHVEBL01)设备维修,现暂停使用。相关已预约的实验全部取消,待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。 给您带来不便,敬请谅解!  

先进电子材料与器件(AEMD)平台

2023年12月12日

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