CN
首页 > 新闻公告 > 通知公告 > 关于AEMD平台西区NMC深硅刻蚀机设备、NMC介质刻蚀机设备恢复对外开放使用的通知
2023-09-26

关于AEMD平台西区NMC深硅刻蚀机设备、NMC介质刻蚀机设备恢复对外开放使用的通知

尊敬的各位用户老师、同学： AEMD平台西区NMC深硅刻蚀机（设备编号：WF2NDSE02）、NMC介质刻蚀机（设备编号：WF2NRIE02）已完成维修，恢复对外开放使用。 在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！  

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2023年9月26日

上一篇：关于AEMD平台西区SEM设备维修的通知 下一篇：关于AEMD平台西区椭圆偏振光谱仪恢复对外开放使用的通知
返回列表
最新公告
用户快捷通道
SERVICE AND INNOVATION FOR MICRO/NANOTECHNOLOGY

Tel：(021) 34207734

Email：[email protected]

邮编：200240

地址：上海市闵行区东川路800号微电子大楼

  • 微信公众号
©2016 上海交通大学电子信息与电气工程学院先进电子材料与器件平台.Advanced Electronics Materials and Devices, Shanghai Jiao Tong University.沪交ICP备20151197
×