关于AEMD平台西区PECVD设备恢复对外开放使用的通知
尊敬的各位用户老师、同学：
AEMD平台西区PECVD设备（设备编号：WF2OCVD01）已完成维护，恢复对外开放使用。在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！
先进电子材料与器件校级平台
二零一九年六月十一日
