关于AEMD平台Mini RCA清洗台开放通告
尊敬的各位用户，
为了进一步给广大用户提供更加标准的清洗工艺，AEMD新增一台Mini RCA清洗台，放置于西区净化室湿法一区。
设备构造：
该设备共提供2套标准RCA工艺槽体（槽体分为3寸和4寸，分别设置4个工艺槽）。槽体设置：SPM槽（H2SO4和H2O2), HPM槽（盐酸、双氧水和水），APM槽（氨水、双氧水和水），QDR水槽以及DHF槽。
设备功能：
该设备槽体有石英材料构成，槽体四面贴膜加热，可以耐高温，耐腐蚀，并提供加热控温功能，能更好的发挥化学品的特性，起到更好的清洗效果。
样品要求：
该设备兼容4寸，3寸以及以下尺寸的小样品，用于前段无机清洗，禁止任何金属样品以及任何附带金属薄膜的样品。
设备使用：
由于该设备操作相对复杂，用户预约后由湿法区工作人员单独进行操作和培训。
设备收费：
该设备启用后，无机小烧杯的预约入口会予以取消，该RCA收费标准见附件。2018年12月31日以前预约该设备提供优惠费率。
附件：MiniRCA收费标准
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二零一八年十月二十九日
