关于AEMD平台西区等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）设备维护的通知

2017-08-24

尊敬的各位用户老师、学生： AEMD平台西区等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）设备故障现暂停使用，给您带来不便，还请见谅！相关预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及学生，谢谢！

先进电子材料与器件校级平台二零一七年八月二十四日

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