尊敬的各位用户老师、同学：
AEMD平台西区PEALD热型/等离子体增强型原子层沉积设备（设备编号：WF1BALD01）已完成设备维修，恢复对外开放使用。
在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！
先进电子材料与器件（AEMD）平台
2024年12月5日
