尊敬的各位用户老师、同学：
AEMD平台东区VHF刻蚀系统设备（设备编号：EFM3VHF01）已完成设备维护，恢复对外开放使用。
在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！
先进电子材料与器件（AEMD）平台
2025年4月18日
