尊敬的各位用户老师、同学：
AEMD平台西区硅刻蚀机（设备编号：WF2SDSE01）因设备维修，即日起暂停使用。已预约的相关实验将由平台统一取消。设备预计恢复时间将根据维修进展确定，恢复开放后将第一时间另行通知，请关注平台公告。
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先进电子材料与器件（AEMD）平台
2026年4月9日
