| 型号： | AH3 |
|---|---|
| 功能： | 1. 高品质氧化硅的干氧氧化； 2. 超厚氧化硅的湿氧氧化。3. 1100度以下的热退火工艺 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 西区高温炉管区 |
| 设备编号： | WDFSOXD03 |
1. 高品质氧化硅的干氧氧化（可以加工300纳米以下的干氧氧化工艺。
2. 超厚氧化硅的湿氧氧化（300纳米到3微米的湿氧氧化工艺）。
3. 1100度以下的热退火工艺。
通过氧气工艺实现干氧氧化， 通过steamer（水蒸气发生器）实现湿氧工艺， 通过heater（加热器）实现石英腔体的快速加热功能， 通过氮气惰性气体可以实现高温退火工艺。
可以用于硅衬底的热氧化工艺，或者实现样品的热退火等热处理工艺。
只有3~6寸硅片（圆片）才可以作业；禁止后道硅片进入。
严禁污染，禁止后道工艺样品进入。
