| 型号： | 定制湿法通风橱 |
|---|---|
| 功能： | 1. 设备配备一个不锈钢超声槽（300mm*300mm)，可以实现样品的水浴加热以及超声功能； 2. 对基片及表面材料无特别限制； 3.设备可以外接加热，超声等小型桌面设备， 实现灵活工艺，4：可做小片与破片工艺。 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 西区无机湿法I区(金属严控) |
| 设备编号： | WW1JMFE02 |
该通风橱可以灵活用于各类样品的灵活清洗工艺，可自主通过烧杯等容器配液，并配合辅助的热板，水浴槽等实现试剂的加热超声等功能。
可以通过烧杯，培养皿等各类容器，自主配液，灵活用于各类样品的清洗工艺，湿法刻蚀等工艺，配合水浴加热超声槽实现 KOH溶液刻蚀硅工艺等。
对基片尺寸无具体要求，可做小片与破片工艺。同时试剂种类可以根据需要灵活选择， 加热温度可以自由设定，超声功能可根据需求选择开启。
湿法通风橱，可以灵活进行微纳器件的清洗工艺。
用于各种器件的清洗工艺，也可以用于水浴超声等工艺步骤。
样品属于前道样品（无光刻胶，存在金属膜层)。
不可以，后道样品请道湿法二区设备去进行工艺。
