电镀镍铁运行
型号: µGALV
功能: 电镀镍铁
工程师: 田老师 / (021) 34206126-6031
设备地点: 东区电镀区
设备编号: EPL0NIF01
  • 设备基本信息
  • 设备工作原理
  • 典型使用案例
主要用途

此设备主要用于镍铁电镀。镍铁电镀层是很好的磁性镀层,其抗蚀性与镍镀层相当,其硬度比镍镀层高,韧度比镍层好。在某些特定电子工业中也会代替光亮镍镀层,同样被应用于半导体互连工艺中。

 

工艺/测试能力
  • 10微米以上线宽 
  • 1-20微米厚度
  • 3、4、6寸标准尺寸晶圆
  • 晶圆厚度:350um-1000um
  • 150mm尺寸以下异形样品(含破片)

 

主要技术指标
  • 3、4、6寸标准尺寸晶圆
  • 速率可调
  • 可做脉冲电压
  • 电流:0 -10 A, 最小 5 mA, 精度 1 mA

镍铁电镀是一种利用电化学方法在基体表面沉积镍铁层的工艺。其电镀液有镍盐、铁盐、导电盐、pH调节剂等组成。电镀过程中将基底作为阴极,通电后,金属离子在阴极表面还原析出,形成镀层。

电镀镍铁工艺:

1)  光刻胶厚度 35um,形成图形。

2) 电镀1-20um镍铁。

样品尺寸小于6英寸。需要有Cu、Ni等层。异形样品会增加工艺时间,提前与工艺工程师沟通。

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常见问题及解答
  • 01
    需要什么种子层?

    Ni、Cu、Au

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