电镀金运行
Electroplating System Au
型号: µGALV
功能: 电镀金
工程师: 田老师 / (021) 34206126-6031
设备地点: 东区电镀区
设备编号: EPL0GOL01
  • 设备基本信息
  • 设备工作原理
  • 典型使用案例
主要用途

此设备主要用于金电镀,采用环保无氰电镀液。电镀金层具有出色的导电性、耐腐蚀性、可焊性以及热压键合性能,是集成电路I/O接点和芯片互连的理想选择。电镀金可用于集成电路芯片封装的各个环节,如引线框架镀金、芯片管脚镀金、焊球连接等。

 

工艺/测试能力
  • 10微米以上线宽;
  • 0.5-10微米厚度;
  • 3、4、6寸标准尺寸晶圆
  • 晶圆厚度:350um-1000um 接受破片,尺寸小于150mm

 

技术指标
  • 3、4、6寸标准尺寸晶圆
  • 速率可调
  • 可做脉冲电压
  • 电流:0-1 A , 最小 2 mA, 精度 1 mA

金电镀是一种利用电化学方法在基体表面沉积金层的工艺。其电镀液有金盐、导电盐、pH调节剂等组成。电镀过程中将基体作为阴极,通电后,金离子在阴极表面还原析出,形成金镀层。

微凸点工艺:    

(1)在基片上溅射Au金属作为电镀的种子层;    

(2)涂布光刻胶,光刻显影出电镀所需的图形;    

(3)清洗后进行电镀金,通过植球-回流形成凸点。

样品尺寸小于6英寸。需要有Au种子层。异形样品会增加工艺时间,提前与工艺工程师沟通。材料费另收。

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常见问题及解答
  • 01
    需要什么种子层

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