| 型号： | 870S |
|---|---|
| 功能： | 1. 可分别实现4寸以及6寸晶圆一盒（最多25片）的自动旋转甩干； 2. 通过去离子水先进行清洗，之后通过高纯氮气，高速旋转甩干样品 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 西区无机湿法I区(金属严控) |
| 设备编号： | WW1OSRD01、WW2OSRD02 |
设备能够去除经湿法处理后晶片表面残留的水渍，用于甩干3英寸、4英寸、 5英寸、6英寸抛光片，具有高洁净度旋转清洗功能，能实现包括具有喷淋、甩干、氮气烘干、腔体干燥及除静电等功能
设备配备上下两个腔体，可以分别实现4英寸以及6英寸的硅片甩干工艺
上下两个甩干桶，通过高纯氮气以及高速旋转，快速甩干样品
用于4英寸以及6英寸样品的旋转甩干工艺
样品须属于前段样品（无光刻胶，无任何金属膜层).。
不可以
