| 型号： | MPO100 |
|---|---|
| 功能： | 使用双光子聚合（TPP）技术使光刻胶结构化，可用于微结构的3D光刻和3D微打印，应用于光学、光子学、力学和生物医学工程。 |
| 工程师： | 徐老师 / (021) 34206126-6030 |
| 设备地点： | 东区光刻ⅢA区 |
| 设备编号： | ELT3MPO01 |
拥有一个强大的飞秒激光光源522nm，能够高效、高速的打印SU8, AZ胶、ma-P100胶以及金属层和ORMOCER有机-无机混合胶；制作高度超过1毫米的宏观结构;制备具有优异表面质量粗糙度低至10 nm的微结构;最小特征尺寸低至100nm，扫描速度超过1000mm/s，3D纳米、微米和宏观结构制造工艺让用户能够充分的利用各项工艺进行定制化加工，并能够在单个工艺步骤中以高吞吐量生产复杂的微结构。可用于微光学、光电子学、微机械学、生物医学工程、量子器件等领域。
MPO 100是一种用于3D光刻和3D微打印的双光子聚合(TPP)系统，使用双光子聚合技术使光刻胶或者金属材料结构化。该系统具有高精度的3D光刻和高打印量的3D微打印，支持高分辨率的增材和减材制造。增材制造是一层一层的精确构建，而减材制造则是高精度地去除材料，以制造复杂的功能微结构。
可用于微光学、光电子学、微机械学、生物医学工程、量子器件等领域:
(以上SEM照片均来源于Heidelberg公司三维微光刻成果展示，作为本三维微光刻设备的应用举例)
1.基底尺寸≤4-inch，厚度≤4cm。
2.样品特征尺寸≤500nm时，基底必须经过O2 plasma处理以增强粘附力。
3.用户需自行准备版图文件，支持版图文件格式：3D结构：.obj, .stl；灰度曝光：.bmp, .tif, .png。
可以使用Solidworks和Blender等软件进行版图绘制。
