高精度微喷墨打印系统运行
HIGH PRECISION MICRO NANO DEPOSITION SYSTEM
型号: PROTO
功能: 1. 平台移动范围: X轴300 mm,Y轴300 mm,Z轴60 mm;
2. 可放置基底尺寸为250mm*250mm;
3. 喷头自吸式供液方式
4. 最小可做线宽尺寸可优于30um;
5. 可打印溶剂黏度450cps以下;
6. 打印微结构为非离散型,包括线和薄膜一次打印须为连续结构;
7. 打印液滴与基底无撞击力,不会产生卫星点;
8. 可编辑打印图形:点阵列、连续性线、折线、圆弧、连续薄膜等;
9. 具备实时CCD视频采集监控系统
工程师: 张老师 / (021) 34206126-6029
设备地点: 西区封装I区
设备编号: WPK1MNDS1
  • 设备基本信息
  • 设备工作原理
  • 典型使用案例
主要用途

微电子与柔性电子:打印导电图案、电极、天线等,用于传感器和柔性电子器件研发。 生物医学:制作生物芯片、微阵列、细胞支架,以及用于组织工程和微流控分析的结构。 材料研究:打印纳米结构、功能薄膜,用于探索新材料特性和应用。 光学与传感:制造微透镜、光栅、光波导及化学或生物传感器。 快速原型制造:加速新产品或器件开发,替代部分光刻工艺。

 

工艺/测试能力
  • 平台移动范围: X轴300 mm,Y轴300 mm,Z轴60 mm;
  • 可放置基底尺寸为250mm*250mm;
  • 喷头自吸式供液方式
  • 最小可做线宽尺寸可优于30um;
  • 可打印溶剂黏度450cps以下;
  • 打印微结构为非离散型,包括线和薄膜一次打印须为连续结构;
  • 打印液滴与基底无撞击力,不会产生卫星点;
  • 可编辑打印图形:点阵列、连续性线、折线、圆弧、连续薄膜等;
  • 具备实时CCD视频采集监控系统

 

技术指标
  • 平台移动范围: X轴300 mm,Y轴300 mm,Z轴60 mm;
  • 可放置基底尺寸为250mm*250mm;
  • 喷头自吸式供液方式 4. 最小可做线宽尺寸可优于30um;
  • 可打印溶剂黏度450cps以下

基于微流控喷墨技术和机械控制系统,通过精确定位和液体分配实现图案的打印 

玻璃衬底,1um针头

 

1、样品需提前与工艺老师确认

2、样品正面与背面均需要保持平整洁净

3、可自行携带墨水和针头

1、样品需提前与工艺老师确认。

2、样品正面与背面均需要保持平整洁净。

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常见问题及解答
  • 01
    墨水容易在衬底上扩散

    需对衬底进行湿法和等离子体清洗

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