| 型号： | BF51842PC-1 |
|---|---|
| 功能： | 氮化保护高温退火（RT~1200℃） |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 西区高温炉管区 |
| 设备编号： | WDFTHTA01 |
此设备可以用于样品的高温热处理，用于微纳加工样品的离子激活，损伤修复，特殊材料的热处理等工艺。 是微纳加工过程中重要的热处理工艺设备，有着广泛的用途
可以实现室温~1100度温度区间的热处理工艺， 升温速率10度/分钟， 降温采用自然冷却， 工艺时常可以通过编程自主控制，工艺灵活， 可以实现不同程序的编程。
腔体式热加工设备，通过电阻丝对腔体进行加热， 并通过通入氮气氛围实现惰性气体保护
马弗炉可以实现对各种尺寸样品的灵活工艺，整片，碎片以及特殊材料样品等，均可置于隔板上进行工艺
样品须属于前段样品（无光刻胶，无任何金属膜层).。
无氮气气氛。
