| 型号： | FP53 |
|---|---|
| 功能： | 1. 氮气保护烘箱； 2. 工艺温度0~300℃可调。设备可以进行编程， 实现不同温度的升温速率控制，恒温时间控制等，实现程序化自动运行。 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 西区无机湿法II区、东区无机湿法IVB区 |
| 设备编号： | WW1BOVN01、WW2BOVN02 |
工艺温度0~300℃可调.此设备可以用于氮气氛围的退火或者烘干工艺，设备可以进行编程， 实现不同温度的升温速率控制，恒温时间控制等，实现程序化自动运行。
2个程序可以编程， 氮气流量可以自主调节， 工艺温度0~300℃可调。 适用样品尺寸非常灵活， 强制对流的电子控制式内腔预热技术；风扇速度可以调节（0~100%）
通过设备腔体加热，以及工艺过程中通入氮气，可以实现样品的烘烤，或者用于0~300度区间的样品退火等工艺
用于BCB 光刻胶的烘烤等工艺，或者用于烘干工艺
样品须属于前段样品（无光刻胶，无任何金属膜层)。
2个
