| 型号： | EasyTube® 3000 |
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| 功能： | 热壁管式CVD纳米材料生长，可用于4寸及以下基底的碳纳米管和石墨烯薄膜研究和生产。 |
| 工程师： | 徐老师 / (021) 34206126-6030 / lipingxu@1 |
| 设备地点： | 东区封装II区 |
| 设备编号： | EPK2CGD01 |
热壁管式CVD纳米材料生长，可用于4寸及以下基底的碳纳米管和石墨烯薄膜研究和生产。适用于各种形状样品， 包括片状， 卷状， 三维立体多孔材料等等；可实现低压和常压工艺。
工艺/测试能力
技术指标
1、4寸及以下样品；
2、基本真空小于50 mTorr；
3、最高温度1100度；恒温区控温均匀性好于+/- 0.5℃；
4、样品覆盖率大于90%；
