碳材料生长沉积系统调试验收中
Carbon Material Growth and Deposition System
型号: EasyTube® 3000
功能: 热壁管式CVD纳米材料生长,可用于碳纳米管和石墨烯薄膜研究和生产。
工程师: 徐老师 / (021) 34206126-6030
设备地点: 东区封装II区
设备编号: EPK2CGD01
  • 设备基本信息
  • 设备工作原理
  • 典型使用案例
主要用途

碳纳米管和石墨烯薄膜的CVD生长;适用于各种形状样品, 包括片状, 卷 状, 三维立体多孔材料等等;可实现低压和常压工艺。

 

工艺/测试能力

电阻丝加热炉, 三个独立控温温区, 加热炉控制和反应腔内控温, 双 控温模式; 最高温度1100度, 中心恒温区温度均匀性好于±0.5度

 

技术指标

4寸以下样品。最高温度1100度

在高温下,碳源气体(如甲烷)分解,碳原子在金属催化剂(如镍、铜)表面沉积并自组装成碳纳米管(催化剂颗粒引导)或石墨烯(表面催化成膜)。

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铜箔上生长单层石墨烯(来自CVD Corporation)

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常见问题及解答
  • 01
    可否长多层石墨烯?

    可以

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