| 型号： | 定制 |
|---|---|
| 功能： | 该设备配置2套不同尺寸的槽体，可以用于8~6寸以及4~3寸两种类型的晶圆的无机RCA清洗， 槽体最多可以进行5片硅片的工艺处理， 可以通过SC1，SC2, SPM 以及DHF等溶液试剂进行RCA清洗的各个工艺步骤 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 东区无机湿法Ⅲ区(金属严控) |
| 设备编号： | EIM3CRC01 |
该设备主要用8~6寸以及4~3寸两种类型的的样品，配备2套不同尺寸类型的槽体（每槽单次最多5片），通过SC1，SC2, SPM 以及DHF等溶液试剂进行RCA清洗的各个工艺步骤，去除样品上的各种污染以及颗粒等。
可以最大处理5片8寸以下样品，设备的SC1槽体配备超声功能，80K 和120K 赫兹可以调节， SC1, SC2 以及SPM槽体配备加热功能， 可自由设定加热温度。
该设备配置2套不同尺寸的槽体，可以用于8~6寸以及4~3寸两种类型的晶圆的无机RCA清洗， 槽体最多可以进行5片硅片的工艺处理， 可以通过SC1，SC2, SPM 以及DHF等溶液试剂进行RCA清洗的各个工艺步骤，去除样品上的各种污染以及颗粒等
用于关键工艺步骤的前清洗， 可以有效去除样品的有机污染， 金属离子污染以及颗粒污染。
8寸，6寸及4寸和3寸基片RCA清洗（需使用槽体时预约此设备,自己配液预约烧杯）
不可以，需要提前预约，由工程师操作设备
