| 型号： | 定制 |
|---|---|
| 功能： | 设备配置2套不同尺寸的槽体，通过丙酮，异丙醇 ，PRS3000等试剂进行剥离，去胶等工艺。 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 东区有机湿法II区 |
| 设备编号： | EOM2ORS01 |
该设备主要用8~6寸以及4~3寸两种类型的的样品，配备2套不同尺寸类型的槽体（每槽单次最多5片），使用丙酮，异丙醇等有机试剂，实现有机清洗，去胶或者剥离等工艺。
可以最大处理5片8寸以下样品，设备配备超声功能，80K 和120K 赫兹可以调节， 槽体配备加热功能， 可自由设定加热温度。
基片尺寸8寸以下兼容， 最大每槽处理5片， 超声功率可调， 槽体尺寸：225L X 100W X 250H mm
设备配备不同尺寸的两套槽体， 往槽体加入相应的有机试剂，对样品进行对应的浸泡工艺，可以选择打开超声功能增强去胶或者剥离效果， 通过丙酮试剂去除光刻胶，之后通过使用异丙醇或者无水乙醇进一步清洗，然后通过去离子水去除残留的有机试剂，最后通过氮气枪对样品进行吹干。
用于光刻工艺后的去胶工艺， 溅射之后的剥离，以及样品的有机清洗等场景。
需要使用有机清洗或者剥离槽时，预约此设备
80K和120KHZ 可调
