| 型号： | 定制 |
|---|---|
| 功能： | 该设备可以用于小样品通过小型烧杯培养皿等器皿的自主灵活清洗，设备配备桌面型超声台，可以通过丙酮，异丙醇 ，PRS3000等试剂进行灵活的剥离，去胶等工艺 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 东区有机湿法II区 |
| 设备编号： | EOM2GOC01 |
该设备可以用于小样品通过小型烧杯培养皿等器皿的自主灵活清洗，设备配备桌面型超声台，用于各种样品尺寸类型的晶圆的有机清洗，剥离或者去胶等工艺。
可以通过小烧杯，自行配置溶液，灵活处理小样品。 设备配备桌面型超声机， 可自行选择清洗方式。通过加入相应的有机试剂，对样品进行对应的浸泡工艺，可以选择打开超声功能增强去胶或者剥离效果
设备尺寸：~1800L×1200W×2000H mm (about) b) 台面操作宽度1600*900mm，根据实际设计尽量缩小宽度，材质为2mmSUS316L
通过加入相应的有机试剂，对样品进行对应的浸泡工艺，可以选择打开超声功能增强去胶或者剥离效果， 通过丙酮试剂去除光刻胶，之后通过使用异丙醇或者无水乙醇进一步清洗，然后通过去离子水去除残留的有机试剂，最后通过氮气枪对样品进行吹干。
需要使用烧杯配液时，预约此设备
有桌面型超声
