| 型号： | 定制 |
|---|---|
| 功能： | 可以用于8~6寸以及4~3寸晶圆的介质刻蚀清洗， 槽体可以进行5片硅片清洗， 可以通过磷酸槽，SPM槽 以及DHF等溶液试剂进行介质湿法刻蚀清洗 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 东区无机湿法Ⅲ区(金属严控) |
| 设备编号： | EIM3CDE01 |
该设备主要用8~6寸以及4~3寸两种类型的的样品，配备2套不同尺寸类型的槽体（每槽单次最多5片），通过使用磷酸，SPM以及DHF等溶液用于样品的介质刻蚀清洗。
可以最大处理5片8寸以下样品，设备的磷酸槽以及SPM槽体配备加热功能， 可自由设定试剂的加热温度。用于去除氮化硅，氧化硅等各种介质
通过槽体加热超声等功能，实现对试剂的加热和对样品的清洗工艺
需要使用有机清洗或者剥离槽时，预约此设备
设备操作须由工艺老师操作
