| 型号： | 定制 |
|---|---|
| 功能： | 用于8寸以下类型的晶圆的金属湿法刻蚀工艺， 槽体最多可以进行5片硅片的工艺处理， 可以通过AL刻蚀槽，Cr刻蚀槽以及SC1槽进行不同金刻薄膜的湿法刻蚀清洗。 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 东区无机湿法IVA区 |
| 设备编号： | EIM4NME01 |
该设备主要用8~6寸以及4~3寸两种类型的的样品，配备2套不同尺寸类型的槽体（每槽单次最多5片），通过使用磷酸，SPM以及DHF等溶液用于样品的介质刻蚀清洗。
可以最大处理5片8寸以下样品，通过槽体内加入铝刻蚀液，铬刻蚀液以及SC1溶液， 实现对不同金属薄膜的湿法刻蚀工艺
通过槽体加热，超声等功能，实现对样品的各类清洗工艺
金属介质刻蚀专用设备
需要工艺工程师进行操作
