| 型号： | 定制 |
|---|---|
| 功能： | 该设备配置2套不同尺寸的槽体，可以用于8~6寸以及4~3寸两种类型的晶圆的金属湿法刻蚀工艺， 槽体最多可以进行5片硅片的工艺处理， 可以通过SC2槽以及DHF槽溶液进行金属湿法刻蚀清洗的各个工艺步骤。 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 东区无机湿法IVA区 |
| 设备编号： | EIM4NMR01 |
该设备主要用8~6寸以及4~3寸两种类型的的样品，配备2套不同尺寸类型的槽体（每槽单次最多5片），SC2槽以及DHF槽溶液进行金属湿法刻蚀清洗的各个工艺步骤。
可以最大处理5片8寸以下样品，设备的SC2槽具备加热功能， 可自由设定试剂的加热温度。用于去除样品上的金属层。
槽体控温精度+/-5度， 升温速率2C/Min, 样品尺寸8~6寸使用8寸槽体， 4~3寸样品使用4寸槽体。
通过对槽体加热，超声等功能，实现对样品的清洗
金属薄膜样品可以在此区域设备进行工艺
需要工艺人员操作
