| 型号： | AH3 |
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| 功能： | 硼扩散高温炉管用于硼掺杂工艺 |
| 工程师： | 李老师 / (021) 34206126-6015 |
| 设备地点： | 西区高温炉管区 |
| 设备编号： | WDFSOXD01 |
硼扩散高温炉管用于硼掺杂工艺
6,4,3寸硅片的硼扩散工艺，工艺温度1100度以下
常压掺硼扩散工艺炉管，可加工样品尺寸为3,4，6寸标准的前道无污染硅片， 通过三溴化硼的液态源在高温900度左右下实现掺杂工艺
工艺温度900~1100度之间，通过使用三溴化硼对样品进行掺杂硼元素
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CMOS工艺中作为热扩散掺杂工艺，实现样品掺杂 |
严禁污染，前道高温炉管
严禁污染，禁止后道工艺样品进入
