定制化微透镜阵列

微透镜阵列是由微米级透镜组成的阵列。它不仅具有传统透镜的聚焦、成像等基本功能,并且单元尺寸小、集成度高,因此能够完成传统光学元件无法完成的功能,并能构成许多新型的光学系统。

AEMD平台采用国际先进的微纳加工技术,以成熟的热回流、干法刻蚀等技术为基础,研发生产高质量微透镜阵列。

微透镜阵列的应用
  • 光信息处理、光计算、光互连、光数据传输
  • 复印机、图像扫描仪、传真机、照相机
  • 医疗卫生器械
AEMD现有样品

AEMD平台研发的微透镜阵列加工能力
  • 微透镜单元尺寸覆盖几微米至数百微米,通常为10μm~300μm。
  • 透镜形状可以为圆形、四边形、六边形及其他用户定制的形状。
  • 透镜材料可选择石英、硅、聚合物以及光刻胶等。
  • 基底材料可以为玻璃、硅、石英、金属、集成电路晶圆等
  • 加工面积:最大加工面积为6英寸,并向下兼容破片。
  • 平台可提供定制化服务,根据客户的应用条件和环境变量,设计各类材料或参数的微透镜阵列。具体可联系工艺工程师咨询。
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