2024-04-01

关于AEMD平台烧杯电镀锡设备开放通告

尊敬的各位用户老师、同学: 为了满足学校广大师生的科研需求,AEMD平台新购置的烧杯电镀锡设备(设备编号:WW2ESNS01)即日起开放运行,各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用,特此公告。   烧杯电镀锡设备介绍: 主要用途: 此设备主要用于锡电镀。电镀锡有良好的导电性、可焊性、抗腐蚀性和延展性,因此被广泛应用于半导体行业。例如,电镀锡可以用于芯片封装中的引线键合和焊球连接,也可以作为导电材料应用于互连工艺,也可以用于芯片保护中的防腐蚀镀层。   设备工作原理简介: 锡电镀是一种利用电化学方法在基体表面沉积锡层的工艺。其电镀液有锡盐、导电盐、pH调节剂等组成。电镀过程中将基体作为阴极,通电后,锡离子在阴极表面还原析出,形成锡镀层。   工艺能力:
  1. 20微米以上线宽;
  2. 1-20微米厚度;
  技术指标:4寸以下基底。   典型使用案例: 微凸点工艺:
  1. 光刻胶厚度 20um,形成孔径40um
  2. 电镀10-15um铜,再电镀5-10um锡
  设备类别:电镀/电铸系统设备 设备编号:WW2ESNS01 设备地点:西区湿法II区 工艺工程师:姓名:田苗;邮箱:[email protected]   设备照片:

先进电子材料与器件(AEMD)平台

2024年4月1日

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