关于2023年春季《先进微纳加工技术与应用》（EST8802）课程开课的通知

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2023-02-07

关于2023年春季《先进微纳加工技术与应用》（EST8802）课程开课的通知

尊敬的各位用户老师、同学：为让各位用户在科研中能更恰当、合理地选择相关的微纳加工工艺方法与分析手段进行微纳结构、器件与芯片的设计、制备与测试，AEMD平台自2016年特面向全校开设专业选修课程《先进微纳加工技术与应用》(课程代码EST8802)，主课程老师为程秀兰研究员。课程将于2023年2月16日开始，按照课表开课。该课程以微纳结构与器件的加工应用入手，旨在向相关研究领域（微电子、纳米科学、光电子学、物理、化学、生物工程、仪器、机械工程、材料学等专业）的学生推广介绍最先进、主流的微纳加工技术与分析方法，课程内容涵盖：微纳加工净化室和各种基片及薄膜材料、各种先进的微纳加工技术、微纳图形制备技术、图形转移技术、薄膜生长与沉积技术、掺杂及退火技术、湿法技术、微纳结构获得与释放技术、芯片与器件封装与键合技术、材料、器件与结构表征技术。通过学习该课程，将非常有利于学生在科研课题项目中顺利开展微纳加工相关工作。 教学主要内容 拟对目前科研领域主流先进微纳加工技术进行较为全面的介绍，重点讲述各工艺技术的原理、工艺流程与参数、工艺优缺点、工艺要点及其在微纳加工中的应用。 1) 微纳加工净化室和各种基片及薄膜材料 2) 各种先进的微纳加工技术 3) 微纳图形制备技术 4) 图形转移技术 5) 薄膜生长与沉积技术 6) 掺杂及退火技术 7) 湿法技术 8) 微纳结构获得与释放技术 9) 芯片与器件封装与键合技术 10) 材料、器件与结构表征技术 考核方式为提交大作业。欢迎各学院学生选修此课程，谢谢！

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2023年2月10日

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