【AEMD平台微纳技术系列讲座】第十四讲 | 微纳加工中的电镀工艺及应用实例

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2022-07-05

【AEMD平台微纳技术系列讲座】

第十四讲 | 微纳加工中的电镀工艺及应用实例

--AEMD平台微纳技术系列讲座

【讲座主题】第十四讲 | 微纳加工中的电镀工艺及应用实例【讲座时间】2022年7月5日(周二) 19:00-20:30 【报告人】惠宇平（苏斯贸易（上海）有限公司，售后支持和应用总监） 【讲座内容】电镀工艺在集成电路制造中有着广泛的应用，尤其是在芯片封装和MEMS器件制造中的LIGA，advanced packaging，和TSV深孔加工等。讲座探讨多种金属电镀的工艺原理，介绍电镀在微纳加工中的应用，重点讲述镍铁合金工艺和铜TSV工艺。

（扫码入会）

腾讯会议号： 780-3798-6336

会议密码：2022

【讲座预告】

7月8日第十五讲 | SEM与SEM base Nanoprober在半导体器件中的应用及制样方法（19:00~20:30）

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