2021-04-30

关于AEMD平台试行延长部分设备工作日预约时长的通知

尊敬的各位用户老师、同学: 针对部分设备机时预约紧张、正常工作时长无法满足用户预约需求的情况,经平台讨论决定,从即日起开放部分设备(现阶段试行设备:电子束光刻;设备型号:Vistec EBPG-5200+;设备编号:WPHVEBL01)的延时预约,延长预约时段为17:00-21:30。相关设备负责老师会根据实际的预约情况,进行延长工艺服务的安排,试行期间频次1-2天/周;请大家知悉。 如有疑问,请联系平台;联系电话:021-34207734或34208017;联系邮箱:[email protected]。 感谢您对平台工作的理解和支持!  

先进电子材料与器件平台

2021年4月30日

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