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2019-11-11

关于AEMD平台举办新进设备介绍讲座的通告

尊敬的各位用户老师、同学： 为了让各位用户更好地了解和使用AEMD新增设备， 平台决定举行两场新设备介绍讲座。届时将由负责相应设备的工艺老师为大家讲解设备的功能、可能的使用场景等等。 讲座现场每个新设备将抽取两次免费试用名额（每个课题组限一次）。欢迎大家积极参与！   第一场 设备：
  1. PEALD-等离子增强原子层沉积（可预约）
  2. DISCO BG810减薄机（可预约）
  3. DISCO DAD3650划片机（可预约）
  4. DISCO DSC1440清洗机（调试中）
  5. PVA TePla微波等离子体去胶机（可预约）
  6. Nano-master SWC-4000掩模版兆声清洗机（未安装）
  7. Tousimis 全自动临界点干燥仪（可预约）
时间：11月14日下午14：00 地点：微电子大楼408   第二场 设备：
  1. Semilab SE-2000 椭圆偏振光谱仪（可预约）
  2. Filmetrics F50-UVX 紫外干涉膜厚仪（调试中）
  3. Zeiss LSM-800 激光共聚焦显微镜（调试中）
  4. Olympus STM-7 测量显微镜（调试中）
时间：11月22日上午9：00 地点：微电子大楼401  

先进电子材料与器件校级平台

二零一九年十一月十一日

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