尊敬的各位用户老师、同学：
AEMD平台西区SPTS硅刻蚀机（设备编号：WF2SDSE01）设备因升级维护，将于2025.01.20（星期一）起，暂停使用；1月16日和17日（本周四、周五）仍可正常预约使用。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。
给您带来不便，敬请谅解！
先进电子材料与器件（AEMD）平台
2025年1月15日
