尊敬的各位用户老师、同学：
AEMD平台东区VHF刻蚀系统（设备编号：EFM3VHF01）设备维修，现暂停使用。相关已预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。
给您带来不便，敬请谅解！
先进电子材料与器件（AEMD）平台
2025年1月16日
