尊敬的各位用户老师、同学：
为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台新购置的全自动薄膜干涉测厚仪（微区）（设备编号：ETE3TMS01）已完成安装调试，即日起开放运行。各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用，特此公告。
测量显微镜介绍：
主要用途：
该设备可对样品进行无接触的无损测量，可测量薄膜厚度，测量迅速、操作简单，精度通常可达到纳米级。波长范围可以从紫外到红外可选，用来测量超薄膜、多层薄膜厚度等等，薄膜厚度从几纳米到百微米范围，自动样品台可以实现晶圆表面的自动厚度mapping。对于图形片测量，需要聚焦型光斑，并配合图形识别功能以实现精准微区位置的测量。在AEMD平台主要用于介质薄膜、有机薄膜、aSi等的厚度测量，对于已经图形化的图形，利用图形识别功能实现自动化微区测量。
技术指标：
波长范围190-1700nm，厚度测试范围4nm~115um，准确度0.2%或1nm（取较大者），光斑大小：17um（15X物镜，250um孔径），样品台直径200mm，XY移动平台，软件具有图形识别功能，可以快速自动多点测量有图形的晶圆。
设备工作原理简介：
光学膜厚仪利用光学反射干涉的原理，对膜厚的厚度及光学常数进行非接触的无损测量。
典型使用案例：
氧化硅薄膜经过CMP工艺后的厚度分布图：
17μm微光斑在SiO2图形片上20μm×20μm方形区域的微区测量：
设备名称：全自动薄膜干涉测厚仪（微区）
设备编号：ETE3TMS01
工艺工程师：瞿老师；邮箱：[email protected] 电话：(021) 34207734-8003
设备地点：东区薄膜Ⅳ区
设备详细介绍查看路径：AEMD官网-平台设备-表征与测试
AEMD官网网址：https://aemd.sjtu.edu.cn/
AEMD实验室设备预约管理系统访问网址：https://aemd-lims.sjtu.edu.cn/
感谢您对AEMD平台的关注！
设备照片：
先进电子材料与器件（AEMD）平台
2025年12月11日
