尊敬的各位用户老师、同学：
为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台新购置的X射线显微镜（XCT/XRM）（设备编号：ETE5XRM01）已完成安装调试，即日起开放运行。各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用，特此公告。
X射线显微镜（XCT/XRM）设备介绍：
主要用途：
亚微米级三维X射线显微镜，具备非破坏性三维断层成像能力，无需切割、染色即可获取样品内部三维结构，支持虚拟切片与3D 可视化。搭载两级放大技术，真实空间分辨率达500 nm，兼顾大尺寸样品成像与多尺度观测，可实现从宏观到微观的一站式检测。配备精准定位扫描、及分析软件，广泛应用于材料、能源、微电子、生命科学等领域的科研与工业质检。
工艺/测试能力：
用于各类样品内部结构亚微米或微米级的无损三维成像，主要涉及半导体材料、电子元件、及其他复合材料如高分子聚合物、涂层、复合材料等。配合平台二期建设中新增的晶圆键合系统、激光植球系统、TSV深孔填充电镀工艺及其他芯片结构分析测试。
设备工作原理简介：
利用短波长X射线穿透样品，通过探测其吸收、相位偏移或散射的差异，形成微观结构的高分辨率投影或断层图像。它结合了传统CT与显微放大技术，实现无损内部三维观测。物质原子序数越高、密度越大，对X射线吸收越强。
设备名称：X射线显微镜（XCT/XRM）
设备编号：ETE5XRM01
工艺工程师：瞿老师；邮箱：[email protected]电话：(021) 34207734-8003
设备地点：东区测试V区
设备详细介绍查看路径：AEMD官网-平台设备-表征与测试
AEMD官网网址：https://aemd.sjtu.edu.cn/
AEMD实验室设备预约管理系统访问网址：https://aemd-lims.sjtu.edu.cn/
感谢您对AEMD平台的关注！
设备照片：
先进电子材料与器件（AEMD）平台
2026年04月28日
