高性能显影机运行
RCD8
型号: RCD8
功能: 喷射式显影
工程师: 王老师 / (021) 34206126-6005
设备地点: 东区光刻ⅢA区
设备编号: ELT3RCD81
  • 设备基本信息
  • 设备工作原理
主要用途

将曝光后的硅片放入显影机中,使用显影液处理以去除特定区域的光阻。

 

工艺/测试能力

8寸及以下光刻胶旋涂和喷射式显影,支持背洗和去厚胶边功能

 

技术指标

电机精度:3000rpm ±1转

显影是将曝光后的硅片放入显影机中,使用显影液处理,以去除曝光或未曝光的光阻

支持 2”~8”标准晶圆,以及大于10mm x 10mm 的碎片

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常见问题及解答
  • 01
    使用中有真空吸附不住片子的情况

    请及时清理载片台和片子背面

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