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微纳加工
  • 自动涂胶显影机（TRACK）预约

    型号：ACT8

    状态：运行

    功能：在180 nm半导体工艺节点中全自动涂胶显影

    东区光刻Ⅱ区(Canon)(021) 34206126-6052
  • 101 喷胶机预约

    型号：101 喷胶机

    状态：运行

    功能：半导体光刻工艺中光刻胶旋涂和喷涂。

    西区光刻I区(021) 34206126-6005
  • 高性能涂胶机预约

    型号：RCD8

    状态：运行

    功能：8寸及以下光刻胶旋涂

    东区光刻ⅢA区(021) 34206126-6005
  • 半自动涂胶机预约

    型号：SM-200

    状态：运行

    功能：主要用于光刻工艺中的旋涂过程，可均匀涂覆光刻胶或其他液态材料，适用于晶圆及基板的高精度涂覆。

    东区光刻ⅢA区(021) 34206126-6029
  • 匀胶机(Spin Coater)预约

    型号：Spin-coater

    状态：运行

    功能：1. 光刻胶旋涂；
    2. 柔性基底原浆旋涂。

    东区光刻ⅢA区、西区光刻I区(021) 34206126-6005/6029
  • 高性能显影机预约

    型号：RCD8

    状态：运行

    功能：喷射式显影

    东区光刻ⅢA区(021) 34206126-6005
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