| 型号： | SM-200 |
|---|---|
| 功能： | 主要用于光刻工艺中的旋涂过程，可均匀涂覆光刻胶或其他液态材料，适用于晶圆及基板的高精度涂覆。 |
| 工程师： | 张老师 / (021) 34206126-6029 |
| 设备地点： | 东区光刻ⅢA区 |
| 设备编号： | EDD2SMS01 |
主要用于光刻工艺中的旋涂（spin coating）过程，可均匀涂覆光刻胶或其他液态材料，适用于晶圆及基板的高精度涂覆。
1、样品需提前与工艺老师确认。
2、样品正面与背面均需要保持平整洁净。
全天即可，样品需提前与工艺老师确认，样品正面与背面均需要保持平整洁净，使用完请保持机台干净整洁。
废液碗需要更换
