型号：D8 Discover
功能：用于表征半导体4英寸晶圆级单晶薄膜的外延结构、膜厚、结晶度、晶向、界面弛豫等性能。
型号：Candela 8400
功能：用于晶圆表面缺陷的检查与分析，快速将缺陷（包括微粒、划伤、坑点、水渍、痕迹残留等）进行分类，统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸，最后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的缺陷标准，可以给出检测样品合格与否的判定。
型号：Dimension Icon
功能：准确观测样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌；同时可以对样品表面的电场/磁场分布、表面电势等进行扫描。
