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表征与测试
  • 原子力显微镜（AFM）预约

    型号：Dimension Icon

    状态：运行

    功能：准确观测样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌；同时可以对样品表面的电场/磁场分布、表面电势等进行扫描。

    东区测试III区、西区测试I区34207734-8010
  • LSM800激光共聚焦显微镜预约

    型号：LSM800

    状态：运行

    功能：材料、器件的微纳结构及表面形貌观察

    东区测试III区34207734-8010
  • 三维光学轮廓仪预约

    型号：Zeta-20

    状态：运行

    功能：收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。

    东区薄膜Ⅲ区、西区薄膜II区34207734-8010
  • 测量显微镜预约

    型号：STM7

    状态：运行

    功能：主要用于微纳加工样品的结构观察及测量

    西区薄膜IA区34207734-8010
  • 光学显微镜预约

    型号：Scope.A1、Lab.A1、Axio Scope A1

    状态：运行

    功能：基片表面光学观察

    西区光刻I区、西区薄膜IA区、东区光刻ⅢB区34207734-8010
  • 台阶仪（表面轮廓仪）预约

    型号：P7

    状态：运行

    功能：1. 在探针允许范围内台阶与沟道深度测量；
    2. 各类沉积薄膜厚度测量；
    3. 表面粗糙度测量。

    东区薄膜Ⅳ区、西区薄膜IA区34207734-8003
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