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表征与测试
  • 场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）预约

    型号：ULTRA PLUS

    状态：运行

    功能：高分辨微观形貌观察及微区成分分析

    西区测试II区(021)34207734-8006
  • 扫描电子显微镜预约

    型号：Gemini 300

    状态：运行

    功能：高分辨微观形貌观察及微区成分分析

    东区测试IV区(021)34207734-8003
  • 原子力显微镜（AFM）预约

    型号：Dimension Icon

    状态：运行

    功能：准确观测样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌；同时可以对样品表面的电场/磁场分布、表面电势等进行扫描。

    东区测试III区、西区测试I区(021)34206126-6010
  • LSM800激光共聚焦显微镜预约

    型号：LSM800

    状态：运行

    功能：材料、器件的微纳结构及表面形貌观察

    东区测试III区(021)34206126-6005
  • 三维光学轮廓仪预约

    型号：Zeta-20

    状态：运行

    功能：收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。

    东区薄膜Ⅲ区(021)34206126-6020
  • 测量显微镜预约

    型号：STM7

    状态：运行

    功能：主要用于微纳加工样品的结构观察及测量

    西区薄膜IA区(021)34206126-6010
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