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表征与测试
  • 三维光学轮廓仪预约

    型号：Zeta-20

    状态：运行

    功能：收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。

    东区薄膜Ⅲ区、西区薄膜II区34207734-8010
  • 测量显微镜预约

    型号：STM7

    状态：运行

    功能：主要用于微纳加工样品的结构观察及测量

    西区薄膜IA区34207734-8010
  • 光学显微镜预约

    型号：Scope.A1、Lab.A1、Axio Scope A1

    状态：运行

    功能：基片表面光学观察

    西区光刻I区、西区薄膜IA区、东区光刻ⅢB区34207734-8010
  • 台阶仪（表面轮廓仪）预约

    型号：P7

    状态：运行

    功能：1. 在探针允许范围内台阶与沟道深度测量；
    2. 各类沉积薄膜厚度测量；
    3. 表面粗糙度测量。

    东区薄膜Ⅳ区、西区薄膜IA区34207734-8003
  • 紫外干涉薄膜厚度测量仪预约

    型号：F50-UVX

    状态：运行

    功能：薄膜厚度测量，可自动mapping

    西区薄膜IA区34207734-8003
  • 椭圆偏振光谱仪预约

    型号：SE-2000

    状态：运行

    功能：用于探测单层或多层薄膜的折射率（n）、消光系数（k）及厚度等信息

    西区测试I区34207734-8003
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