| 型号： | Gemini 300 |
|---|---|
| 功能： | 高分辨微观形貌观察及微区成分分析 |
| 工程师： | 瞿老师 / 34207734-8003 |
| 设备地点： | 东区测试IV区 |
| 设备编号： | ETE4SEM01 |
主要用于微纳米材料及结构的超高分辨微观形貌观察，同时可结合EDS能谱仪对材料或结构表面及截面进行微区成分分析等。
场发射扫描电子显微镜因其分辨率高、景深大、图像更富立体感、放大倍数可调范围宽等优点而被广泛应用于半导体、无机非金属材料及器件等的检测。能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。结合能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
1.分辨率：≤0.7nm@15V，≤1.2nm@1kV
2.加速电压：0.02~30kV，优异的低电压性能适合观察导电性较差的样品
3.探测器: 二次电子探头（镜筒内二次电子探测器和样品仓二次电子探测器各1个），背散射电子探头，红外探测器，能够同时获得二次电子和背散射电子图像
4.样品台：可直接放入的最大样品尺寸Φ200mm
5.轴电动优中心样品台，可倾斜范围为-3～70°，连续旋转360°
6.配置EDS能谱仪可做微区成分分析
7.离子溅射仪可镀金膜
场发射扫描电子显微镜利用场发射电子源产生高能电子束，并通过透镜系统将电子聚焦到样品表面上。当电子束撞击样品时，会产生反射、散射和二次电子等信号，这些信号被收集并转换成图像，从而实现对样品表面微观结构的观察和分析。配有能谱仪，可以同时进行显微形貌观察和微区成分分析。
低电压测试未喷金的光刻胶微米柱（制备工艺：三维微纳打印系统）
【请至少提前15分钟至实验室准备样品】禁止磁性及粉末样品，样品保持洁净，禁止用手直接触摸。
样品要求： 1. 样品为干燥无水固体，无易挥发溶剂 2. 无磁性 3. 多孔材料需提前预抽真空
A. 要确保分析的位置被暴露出来；
B. 样品表面导电性良好，如导电性不好可降低加速电压或采用喷金增加导电性；
C.样品无易挥发物质；
D.不易被电子束损伤。
