• 型号:F50-UVX

    状态:运行

    功能:薄膜厚度测量,可自动mapping

    西区薄膜IA区34207734-8003
  • 型号:SE-2000

    状态:运行

    功能:用于探测单层或多层薄膜的折射率(n)、消光系数(k)及厚度等信息

    西区测试I区34207734-8003
  • 型号:500TC

    状态:运行

    功能:1. 基片薄膜应力测试(注:薄膜沉积前后各需测一次);
    2. 室温至500℃升温薄膜应力测试。

    西区薄膜II区34207734-8010
  • 型号:B1500A

    状态:运行

    功能:二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量,脉冲IV,准静态和中频电容-电压(C-V)测量,时域测量等。

    西区测试I区34207734-8003
  • 型号:ResMap 178

    状态:运行

    功能:半导体或半导体薄膜电阻及方块电阻测量

    西区高温炉管区34207734-8010
  • 型号:K2500

    状态:运行

    功能:测量半导体薄膜中载流子类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数。

    西区测试I区34207734-8003
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