型号：Lab.A1、Axio Scope A1
功能：基片表面光学观察
型号：P7
功能：1. 在探针允许范围内台阶与沟道深度测量；2. 各类沉积薄膜厚度测量；3. 表面粗糙度测量。
型号：F50-UVX
功能：薄膜厚度测量，可自动mapping
型号：SE-2000
功能：用于探测单层或多层薄膜的折射率（n）、消光系数（k）及厚度等信息
型号：500TC
功能：1. 基片薄膜应力测试（注：薄膜沉积前后各需测一次）； 2. 室温至500℃升温薄膜应力测试。
型号：B1500A
功能：二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量，脉冲IV，准静态和中频电容-电压(C-V)测量，时域测量等。
