型号：500TC
功能：1. 基片薄膜应力测试（注：薄膜沉积前后各需测一次）； 2. 室温至500℃升温薄膜应力测试。
型号：B1500A
功能：二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量，脉冲IV，准静态和中频电容-电压(C-V)测量，时域测量等。
型号：ResMap 178
功能：半导体或半导体薄膜电阻及方块电阻测量
型号：K2500
功能：测量半导体薄膜中载流子类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数。
型号：CVP21
功能：Si片表面掺杂浓度随深度分布测试，载流子浓度范围覆盖 10¹¹ cm⁻³ 至 10²¹ cm⁻³。
型号：Lambda 750S
功能：190nm~2500nm波长范围内薄膜样品吸光度(A)/反射率(R%)/透过率(T%)测试
