| 型号： | B1500A |
|---|---|
| 功能： | 二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量，脉冲IV，准静态和中频电容-电压(C-V)测量，时域测量等。 |
| 工程师： | 瞿老师 / 34207734-8003 |
| 设备地点： | 西区测试I区 |
| 设备编号： | WT1MSPA01 |
支持二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量，准静态和中频电容-电压(C-V)测量，时域测量等。
加热台: 温度范围室温-400℃
铜+石墨烯薄膜I-V测试曲线
样品尺寸：8英寸及以下；不接受会沾污电学探针的样品，如粘性样品等。
禁止在带电状态下触动任意电缆线；探针弯曲、沾污等情况需及时联系设备管理员。
异常原因： 测试回路未导通；处理方法：
（1）电流更接近1 fA量级时，优先查看电缆线连接：电缆线连接与软件内SMU设置是否一致，如需改变电缆线连接，需先做断电处理，请联系工艺工程师提供帮助；
（2）电流更接近1pA量级时，优先查看探针接触：在显微镜下观察探针与样品电极之间的接触是否紧密，如未接触紧密或位置偏移，需重新进行扎上探针；
（3）查看器件性能：可能器件本身电阻很大无法导通，可用导电样品进行测试回路检测，请联系工艺工程师提供帮助。
