| 型号： | ResMap 178 |
|---|---|
| 功能： | 半导体或半导体薄膜电阻及方块电阻测量 |
| 工程师： | 沈老师 / 34207734-8010 |
| 设备地点： | 西区高温炉管区 |
| 设备编号： | WDFCFPP01 |
半导体或半导体薄膜电阻及方块电阻测量
通过等间距排列的四根电学探针同时接触样品，专用于测试半导体材料方块电阻（薄层电阻），且其自动多点扫描功能可用于研究晶圆表面材料方块电阻或材料厚度的均匀性。
四探针方阻测试仪的基本原理是基于欧姆定律，通过测量通过样品的电流和电压来计算电阻值
4寸晶圆样品表面镀膜后方阻mapping测量结果
对测试样品表面有一定破坏性。
1. 样品<6inch，样品背面干净，样品厚度不超过500μm，使用完后关闭软件。
2. 设备在运行过程中，请勿触碰设备以及操作电脑以免误碰引起设备停机或故障。
3. 如果发生设备报警，请通知相应的设备工程师。
测量精度受探针与样品之间的接触电阻、样品的均匀性等因素的影响。
